







純水處理設(shè)備工藝一般有幾種?





工藝三:針對微電子、半導(dǎo)體工藝用超純水設(shè)備
原水→原水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→軟水器→精密過濾器→高壓泵→一級反滲透→中間水箱→高壓泵2→二級反滲透→中間水泵→EDI設(shè)備→純化水箱→輸送泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點(diǎn)
原水→原水增壓泵→袋式過濾器→超濾系統(tǒng)→超濾水箱→高壓泵→一級反滲透→中間水箱→高壓泵2→二級反滲透→中間水泵→紫外線殺菌器→EDI設(shè)備→脫氣膜系統(tǒng)→超純水箱→輸送泵→TOC去除器→核級拋光混床→末端超濾系統(tǒng)→用水點(diǎn)

