德興市意發功率半導體有限公司低能耗半導體功率器件生產線配套高純水設備。

該項目位于德興市高新技術產業園，占地面積12639平方米，建筑面積18839平方米，總投資50000萬元，其中環保投資288萬元，占總投資的5.78%。項目主要生產6英寸的溝槽和平面型IGBT、智能功率MOSFET及碳化硅器件產品。主要工藝流程：硅片（固態）-硅片清洗-擴散/氧化-光刻-刻蝕-去膠-離子注入--化學氣相沉積-濺射鋁-減薄-QC質量檢驗-入庫。

   由蘇州市創聯凈化設備有限公司承建的15t/h高純水設備設計出水指標：

  超純水技術參數：

 電阻率：           ≥18.1MΩcm（@25℃）

 總溶解有機碳             TOC：<50ppb

 顆粒度：            < 5個/ml  (φ>0.2u)

 SiO2含量：              < 5ppb

 溫度：                 22~27℃

 細菌含量：           <50個/100ml

 壓力：0.3Mpa 

  本項目采用二級反滲透+EDI+拋光混床工藝制取高純水，特別考慮到了對水中TOC、顆粒物和細菌方面的控制。